<button id="topyi"><acronym id="topyi"><menuitem id="topyi"></menuitem></acronym></button>

  1. <th id="topyi"><track id="topyi"></track></th>
    <tbody id="topyi"></tbody>

        返回列表頁

        氮化硅AMB陶瓷基板的制備流程

        氮化硅AMB陶瓷基板

                                                                    氮化硅AMB陶瓷基板的制備流程

                氮化硅陶瓷基板能量損耗、更容易小型化、更耐高溫高壓的優勢在新能源汽車方面備受歡迎,能起到提速、增加續航里程、汽車輕量化的目的;同時氮化硅AMB陶瓷基板還是SiC器件封裝基板的首選,傳統的DBC陶瓷基板已經難以滿足高溫、大功率、高散熱、高可靠性的封裝要求,DBC基板和氮化硅器件,在高溫過程中容易產生熱應力,導致銅層剝離,采用氮化硅AMB陶瓷基板能夠小避免。本文要闡述的是氮化硅AMB陶瓷基板的特點以及制備流程。

        amb氮化鋁陶瓷基板.jpg

               一,氮化硅AMB陶瓷基板的特點

        Si3N4-AMB覆銅基板則是利用活性金屬元素(Ti、Zr、Ta、Nb、V、Hf等)可以潤濕陶瓷表面的特性,將銅層通過活性金屬釬料釬焊在Si3N4陶瓷板上。通過活性金屬釬焊(AMB)工藝形成的銅/陶瓷界面粘結強度更高,且Si3N4陶瓷相比Al2O3和AlN同時兼顧了優異的機械性能和良好的導熱性,因此Si3N4-AMB覆銅基板在高溫下的服役可靠性更強,是SiC器件封裝基板的首選。

        360截圖20221019111247786.jpg 

        二,氮化硅AMB基板的制備工藝流程

        AMB工藝根據釬焊料不同,目前主要分為放置銀銅鈦焊片和印刷銀銅鈦焊膏兩種。

        以后者為例,工藝流程如下圖所示。首先將Ag、Cu、Ti元素直接以粉末形式混合制成漿料,采用絲網印刷技術將Ag-Cu-Ti焊料印刷在氮化硅陶瓷基板上,再利用熱壓技術將銅箔層壓在焊料上,最后通過燒結、光刻、腐蝕及鍍Ni工藝制備出符合要求的氮化硅AMB覆銅板。

        360截圖20221019111913024.jpg 

        氮化硅AMB覆銅板制備工藝流程圖

         

        三,AMB工藝也有其局限性

        AMB工藝中,利用Ti等過渡金屬與Ag、Cu等元素形成合金焊料,具有很強的化學活性,能夠與氧化物陶瓷、非氧化物陶瓷等發生反應,促使熔融焊料潤濕陶瓷表面,完成氮化硅與無氧銅的連接?;钚栽豑i與氮化硅陶瓷反應的主要產物是TiN和TiAl3。

        但這兩種方法都存在一定局限。首先,焊片工藝所用的銀銅鈦焊片在制備過程中容易出現活性元素Ti的氧化、偏析問題,導致成材率極低,焊接接頭性能較差。對于焊膏工藝,在高真空中加熱時有大量有機物揮發,導致釬焊界面不致密,出現較多空洞,使得基板在服役過程中易出現高壓擊穿、誘發裂紋的問題。此外,釋放的有機揮發物會污染真空腔體和泵組管道,影響分子泵的使用壽命。

        此外,AMB工藝還還存在一些短板,其技術實現難度要比DBC、DPC兩種工藝大很多,對技術要求高,且在良率、材料等方面還有待進一步完善,這使得該技術目前的實現成本還比較高。更多氮化硅AMB基板相關問題可以咨詢金瑞欣特種電路。

                                                                                                                                                      內容來源:優合化工科技


        陶瓷pcb電路板|深圳市金瑞欣特種電路技術有限公司

        金瑞欣——專業的陶瓷電路板制造商

        通過公司研發團隊的不懈努力,現已成功研發微小孔板、高精密板、難度板、微型化板、圍壩板等,具備DPC、DBC、HTCC、LTCC等多種陶瓷生產技術,以便為更多需求的客戶服務,開拓列廣泛的市場。

        在線咨詢在線咨詢
        咨詢熱線 4000-806-106

        ? 2018 深圳市金瑞欣特種電路技術有限公司版權所有    技術支持:深度網

        返回頂部

        写真一区日本福利一区二区|国产乱人伦a在线a|丰满人妻一区二区三区免费视频|欧美亚洲日本国产其他